Арсенид галлия

редактировать
Арсенид галлия
Образцы арсенида галлия
Gallium Arsenide (GaAs) 2" wafer.jpg. GaAs-пластина ориентации (100)
Имена
Предпочтительное название IUPAC Арсенид галлия
Идентификаторы
Номер CAS
3D-модель (JSmol )
ChemSpider
ECHA InfoCard 100.013.741 Измените это в Викиданных
Номер ЕС
  • 215-114-8
MeSH галлий + арсенид
PubChem CID
Номер RTECS
  • LW8800000
UNII
Номер ООН 1557
CompTox Dashboard (EPA )
InChI
УЛЫБКА
Свойства
Химическая формула GaAs
Молярная масса 144,645 г / моль
Внешний видСерые кристаллы
Запах напоминающий чеснок при увлажнении
Плотность 5,3176 г / см
Температура плавления 1238 ° C (2260 ° F; 1511 K)
Растворимость в воде нерастворимый
Растворимость растворим в HCl. нерастворим в этаноле, метаноле, ацетоне
Ширина запрещенной зоны 1,441 эВ (при 300 K)
Подвижность электронов 9000 см / (В · с) (при 300 K)
Магнитная восприимчивость (χ)-16,2 × 10 сГс
Теплопроводность 0,56 Вт / (см · К) (при 300 К)
Показатель преломления (nD)3,3
Структура
Кристаллическая структура Цинковая обманка
Пространственная группа Td-F-43m
Постоянная решетки a = 565,315 пм
Координационная геометрия Тетраэдр
Молекулярная форма Линейная
Опасности
Паспорт безопасности Внешний MSDS
Пиктограммы GHS GHS08: Опасность для здоровья
Сигнальное слово GHS Опасно
Краткая характеристика опасности GHS H350, H372, H360F
Меры предосторожности GHS P261, P273, P301 + 310, P311, P501
NFPA 704 (огненный алмаз)NFPA 704 четырехцветный алмаз 0 3 0
Родственные соединения
Прочие анионы Нитрид галлия. Фосфид галлия. Антимонид галлия
Если не указано иное, данные приведены для материалов ls в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
☒ N (что такое ?)
Ссылки в ink

Галлий арсенид (GaAs ) Это III-V полупроводник с прямой запрещенной зоной с цинковой обманкой кристаллическая структура.

Арсенид галлия используется в производстве таких устройств, как микроволновые частотные интегральные схемы, монолитные микроволновые интегральные схемы, инфракрасные светоизлучающие диоды, лазерные диоды, солнечные элементы и оптические окна.

GaAs часто используется в качестве материала подложки для эпитаксиальный рост других полупроводников III-V, включая арсенид индия-галлия, арсенид алюминия-галлия и другие.

Содержание
  • 1 Подготовка и химия
    • 1.1 Полуизолирующие кристаллы
    • 1.2 Травление
  • 2 Электроника
    • 2.1 Цифровая логика на основе GaAs
    • 2.2 Сравнение с кремнием для электроники
      • 2.2. 1 Преимущества GaAs
      • 2.2.2 Преимущества кремния
  • 3 Другие применения
    • 3.1 Транзистор использует
    • 3.2 Солнечные элементы и детекторы
    • 3.3 Светоизлучающие устройства
    • 3.4 Оптоволоконное измерение температуры
    • 3.5 Преобразователи спинового заряда
  • 4 Безопасность
  • 5 См. Также
  • 6 Ссылки
  • 7 Цитированные источники
  • 8 Внешние ссылки
Получение и химия

В соединении галлий имеет степень окисления +03 . Монокристаллы арсенида галлия могут быть получены тремя промышленными способами:

  • Процесс вертикального градиентного замораживания (VGF) (большинство пластин GaAs производится с использованием этого процесса).
  • Рост кристаллов с использованием печь с горизонтальной зоной в методике Бриджмена-Стокбаргера, в которой пары галлия и мышьяка вступают в реакцию, и свободные молекулы осаждаются на затравочном кристалле в более холодном конце печи.
  • Инкапсулированная жидкость Рост по методу Чохральского (LEC) используется для получения монокристаллов высокой чистоты, которые могут демонстрировать полуизолирующие характеристики (см. Ниже).

Альтернативные методы получения пленок GaAs включают:

Оксидати GaAs происходит в воздухе, что ухудшает характеристики полупроводника. Поверхность может быть пассивирована путем нанесения слоя кубического сульфида галлия (II) с использованием соединения сульфида трет-бутилгаллия, такого как (. BuGaS). 7.

Полуизолирующие кристаллы

В присутствии избытка мышьяка були GaAs растут с кристаллографическими дефектами ; в частности, антиструктурные дефекты мышьяка (атом мышьяка на участке атома галлия внутри кристаллической решетки). Электронные свойства этих дефектов (взаимодействие с другими) приводят к тому, что уровень Ферми закрепляется вблизи центра запрещенной зоны, так что этот кристалл GaAs имеет очень низкую концентрацию электронов. и дырки. Эта низкая концентрация носителей аналогична собственному (идеально нелегированному) кристаллу, но ее гораздо проще достичь на практике. Эти кристаллы называются «полуизолирующими», поскольку они отражают их высокое удельное сопротивление 10–10 Ом · см (что довольно много для полупроводника, но все же намного ниже, чем у настоящего изолятора, такого как стекло).

Травление

Влажное травление GaAs в промышленности использует окислитель, такой как перекись водорода или бром вода, и такая же стратегия была описана в патенте, касающемся обработки компонентов лома, содержащих GaAs, где Ga. образует комплекс с гидроксамовой кислотой («HA»), например:

GaAs + H. 2O. 2+ «HA» → «GaA» комплекс + H. 3AsO. 4+ 4 H. 2O

Эта реакция дает мышьяковую кислоту.

Электроника

Цифровая логика на основе GaAs

GaAs может использоваться для различных типов транзисторов:

HBT может использоваться в встроенной логике впрыска (IL). Самый ранний использованный логический вентиль на основе GaAs (BFL).

С 1975 по 1995 год основными используемыми семействами логики были:

  • (SCFL), самый быстрый и самый сложный (используется TriQuint Vitesse)
  • (CDFL) (используется Cray)
  • (DCFL) простейшее и низкое энергопотребление (используется Vitesse для вентильных матриц СБИС)

Сравнение с кремнием для электроники

Преимущества GaAs

Некоторые электронные свойства арсенида галлия превосходят свойства кремния. Он имеет более высокую скорость насыщенных электронов и более высокую подвижность электронов, что позволяет транзисторам на основе арсенида галлия работать на частотах, превышающих 250 ГГц. Устройства на основе GaAs относительно нечувствительны к перегреву из-за их более широкой запрещенной зоны, а также они, как правило, создают меньше шума (помехи в электрическом сигнале) в электронных схемах, чем кремниевые устройства, особенно на высоких частотах. Это результат более высокой подвижности носителей и более низкой паразитности резистивных устройств. Эти превосходные свойства являются вескими причинами для использования схем на основе GaAs в мобильных телефонах, спутниковой связи, микроволновых двухточечных каналах связи и высокочастотных радиолокационных системах. Он также используется при производстве диодов Ганна для генерации микроволн.

. Еще одним преимуществом GaAs является то, что он имеет прямую запрещенную зону, что означает, что он может использоваться для эффективного поглощения и излучения света. Кремний имеет непрямую запрещенную зону и поэтому относительно плохо излучает свет.

В качестве материала с широкой прямой запрещенной зоной, обеспечивающей устойчивость к радиационным повреждениям, GaAs является превосходным материалом для космической электроники и оптических окон в приложениях с высокой мощностью.

Из-за своей широкой запрещенной зоны чистый GaAs обладает высоким сопротивлением. В сочетании с высокой диэлектрической проницаемостью это свойство делает GaAs очень хорошей подложкой для интегральных схем и, в отличие от Si, обеспечивает естественную изоляцию между устройствами и схемами. Это сделало его идеальным материалом для монолитных микроволновых интегральных схем (MMIC), где активные и важные пассивные компоненты могут быть легко произведены на единственном срезе GaAs.

Один из первых микропроцессоров на основе GaAs был разработан в начале 1980-х годов корпорацией RCA и рассматривался для участия в программе Звездных войн Министерство обороны США. Эти процессоры были в несколько раз быстрее и на несколько порядков более радиационной стойкостью, чем их кремниевые аналоги, но были дороже. Другие процессоры GaAs были реализованы производителями суперкомпьютеров Cray Computer Corporation, Convex и Alliant в попытке опередить -улучшающий CMOS микропроцессор. В конце концов Cray построил одну машину на основе GaAs в начале 1990-х, Cray-3, но усилия не были адекватно капитализированы, и компания объявила о банкротстве в 1995 году.

Сложные многоуровневые структуры. арсенида галлия в сочетании с арсенидом алюминия (AlAs) или сплавом AlxGa1-x As можно выращивать с использованием молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) или с использованием эпитаксии из паровой фазы металлоорганических соединений (MOVPE). Поскольку GaAs и AlAs имеют почти одинаковую постоянную решетки , слои имеют очень небольшую индуцированную деформацию, что позволяет выращивать их практически произвольно толщины. Это обеспечивает чрезвычайно высокие характеристики и высокую подвижность электронов HEMT транзисторов и других устройств с квантовыми ямами.

Были высказаны опасения по поводу восприимчивости GaAs к тепловому повреждению, но предполагалось, что определенные производители выиграют от таких ограничений, учитывая цикл запланированного устаревания, которому должна следовать многие бытовая электроника..

Преимущества кремния

Кремний имеет три основных преимущества перед GaAs для изготовления интегральных схем. Во-первых, кремний имеется в большом количестве и дешев для обработки в виде силикатных минералов . Экономия за счет масштаба, доступная для кремниевой промышленности, также препятствовала внедрению GaAs.

Кроме того, кристалл Si имеет очень стабильную структуру и может быть выращен до були очень большого диаметра и обработан с очень хорошими выходами. Это также довольно хороший проводник тепла, что позволяет очень плотно упаковывать транзисторы, которые должны избавляться от тепла их работы, что очень желательно для проектирования и производства очень больших ИС. Такие хорошие механические характеристики также делают его подходящим материалом для быстро развивающейся области наноэлектроники. Естественно, поверхность GaAs не выдерживает высоких температур, необходимых для диффузии; однако жизнеспособной и активно преследуемой альтернативой с 1980-х годов была ионная имплантация.

Вторым основным преимуществом Si является наличие естественного оксида (диоксид кремния, SiO 2), который используется как изолятор. Диоксид кремния может быть легко включен в кремниевые схемы, и такие слои прикрепляются к нижележащему кремнию. SiO 2 - это не только хороший изолятор (с запрещенной зоной 8,9 эВ ), но и интерфейс Si-SiO 2 может быть легко спроектированным, чтобы иметь отличные электрические свойства, самое главное - низкую плотность состояний интерфейса. GaAs не имеет естественного оксида, с трудом поддерживает стабильный адгезивный изолирующий слой и не обладает диэлектрической прочностью или пассивирующими свойствами поверхности Si-SiO 2.

оксид алюминия (Al 2O3). широко изучается как возможный оксид затвора для GaAs (а также InGaAs ).

Третье преимущество кремния состоит в том, что он обладает более высокой подвижностью дырок по сравнению с GaAs (500 против 400 смВ). Эта высокая мобильность позволяет изготавливать высокоскоростные полевые транзисторы с P-каналом , которые требуются для логики CMOS. Поскольку в них отсутствует быстрая структура CMOS, схемы GaAs должны использовать логические стили, которые имеют гораздо более высокое энергопотребление; это сделало логические схемы на основе GaAs неспособными конкурировать с кремниевыми логическими схемами.

Для производства солнечных элементов кремний имеет относительно низкую поглощающую способность солнечного света, что означает, что для поглощения большей части солнечного света требуется около 100 микрометров Si. Такой слой относительно прочен и прост в обращении. Напротив, поглощательная способность GaAs настолько высока, что для поглощения всего света требуется всего несколько микрометров толщины. Следовательно, тонкие пленки GaAs должны поддерживаться на материале подложки.

Кремний - это чистый элемент, позволяющий избежать проблем стехиометрического дисбаланса и термического несмешивания GaAs.

Кремний имеет почти идеальную решетку; Плотность примесей очень мала и позволяет создавать очень маленькие структуры (в настоящее время до 16 нм). Напротив, GaAs имеет очень высокую плотность примесей, что затрудняет создание интегральных схем с небольшими структурами, поэтому процесс 500 нм является обычным процессом для GaAs.

Другие применения
Тройной переход GaAs-элементы, покрывающие MidSTAR-1

Транзистор использует

Транзисторы на основе арсенида галлия (GaAs) используются для сотовых телефонов и беспроводной связи. В сотовых телефонах есть усилители мощности , которые позволяют телефону отправлять сообщения.

Солнечные элементы и детекторы

Арсенид галлия является важным полупроводниковым материалом для дорогостоящего и высокоэффективного солнечных элементов и используется для монокристаллических тонкопленочных солнечных элементов и для многопереходных солнечных элементов.

Первое известное оперативное использование солнечных элементов из GaAs в космосе было для миссии Венера-3, запущенной в 1965 году. Солнечные элементы из GaAs, производимые компанией «Квант», были выбраны из-за их более высоких характеристик в условиях высоких температур. Затем по той же причине ячейки GaAs были использованы для луноходов Лунохода.

В 1970 году группой под руководством Жореса Алферова в СССР были разработаны солнечные элементы с гетероструктурой GaAs, что позволило достичь гораздо более высокой эффективности. В начале 1980-х годов эффективность лучших солнечных элементов на основе GaAs превосходила эффективность обычных солнечных элементов на основе кристаллического кремния. В 1990-х годах солнечные элементы из GaAs пришли на смену кремниевым элементам, которые чаще всего использовались для фотоэлектрических массивов для спутниковых приложений. Позже солнечные элементы с двойным и тройным переходом на основе GaAs со слоями германия и фосфида индия-галлия были разработаны в качестве основы солнечного элемента с тройным переходом, который показал рекордную эффективность. более 32% и может работать также при яркости света до 2000 солнц. Этот вид солнечных элементов питал марсоходы Mars Exploration Spirit и Opportunity, которые исследовали поверхность Марса. Также многие солнечные автомобили используют GaAs в солнечных батареях.

Устройства на основе GaAs удерживают мировой рекорд по самой высокой эффективности однопереходных солнечных элементов - 29,1% (по состоянию на 2019 год). Такая высокая эффективность объясняется исключительно высоким качеством эпитаксиального роста GaAs, пассивацией поверхности AlGaAs и стимулированием рециркуляции фотонов за счет конструкции тонкой пленки.

Сложные конструкции из Al xGa1-x Устройства As-GaAs, использующие квантовые ямы, могут быть чувствительны к инфракрасному излучению (QWIP ).

GaAs-диоды могут использоваться для обнаружения рентгеновских лучей.

Светоизлучающие устройства

Зонная структура GaAs. Прямой зазор GaAs приводит к эффективному излучению инфракрасного света с энергией 1,424 эВ (~ 870 нм).

GaAs используется для производства лазерных диодов ближнего инфракрасного диапазона с 1962 года. Он часто используется в сплавах с другими полупроводниковыми соединениями для этих целей. Приложения.

Измерение температуры по оптоволокну

Для этой цели конец оптического волокна датчика температуры оптического волокна снабжен кристаллом арсенида галлия. Начиная с длины волны света 850 нм GaAs становится оптически полупрозрачным. Поскольку спектральное положение запрещенной зоны зависит от температуры, она сдвигается примерно на 0,4 нм / К. Измерительное устройство содержит источник света и устройство для спектрального определения ширины запрещенной зоны. При изменении ширины запрещенной зоны (0,4 нм / K) алгоритм вычисляет температуру (все 250 мс).

Преобразователи спинового заряда

GaAs могут найти применение в спинтронике., поскольку он может использоваться вместо платины и может быть более настраиваемым.

Безопасность

Аспекты окружающей среды, здоровья и безопасности источников арсенида галлия (например, как триметилгаллий и арсин ) и исследований по мониторингу промышленной гигиены металлоорганических прекурсоров. Калифорния относит арсенид галлия к канцерогену, также как и IARC и ECA, и он считается известным канцерогеном для животных. С другой стороны, обзор 2013 года (финансируемый промышленностью) выступил против этих классификаций, заявив, что, когда крысы или мыши вдыхают мелкодисперсный порошок GaAs (как в предыдущих исследованиях), они заболевают раком из-за раздражения и воспаления легких, а не из-за первичный канцерогенный эффект самого GaAs - и что, кроме того, мелкие порошки GaAs вряд ли будут созданы при производстве или использовании GaAs.

См. также
Ссылки
Цитированные источники
Внешние ссылки
Викискладе есть медиафайлы, связанные с арсенидом галлия.
Последняя правка сделана 2021-05-21 10:53:53
Содержание доступно по лицензии CC BY-SA 3.0 (если не указано иное).
Обратная связь: support@alphapedia.ru
Соглашение
О проекте