Плотность ямок травления

Плотность ямок травления (EPD ) - это показатель качества полупроводников пластины.

• 1 Травление
• 2 Детекторы германия
• 3 Стандарты
• 4 Ссылки

На поверхность наносится раствор для травления поверхность пластины, на которой скорость травления увеличивается на дислокациях кристалла , что приводит к ямкам. Для GaAs обычно используют расплавленный КОН при 450 градусах Цельсия в течение примерно 40 минут в тигле из циркония . плотность ямок может быть определена с помощью оптической контрастной микроскопии. Кремниевые пластины обычно имеют очень низкую плотность < 100 cm while semi-insulating GaAs wafers have a density on the order of 10 cm.

высокочистые германиевые детекторы требуют выращивания кристаллов Ge с контролируемым диапазоном дислокаций. плотность для уменьшения примесей. Требуемая плотность шага травления обычно находится в диапазоне от 10 до 10 см.

Плотность ямок травления может быть определена в соответствии с DIN 50454-1 и ASTM F 1404.