Автоэмиссионная пушка

A автоэмиссионная пушка (FEG ) - это тип электронной пушки, в которой остроконечный эмиттер типа Мюллера удерживается под напряжением в несколько киловольт отрицательным потенциалом относительно ближайшего электрода, так что существует достаточный потенциал градиент на поверхности эмиттера, чтобы вызвать автоэлектронную эмиссию. Излучатели бывают либо типа с холодным катодом, обычно из монокристалла вольфрама, заостренного до радиуса наконечника около 100 нм, либо типа Шоттки в термоэлектронная эмиссия усиливается за счет снижения барьера в присутствии сильного электрического поля. Излучатели Шоттки изготавливаются путем покрытия вольфрамового наконечника слоем оксида циркония (ZrO), уменьшающего работу выхода наконечника примерно на 2,7 eV.

In в электронных микроскопах, автоэмиссионная пушка используется для получения электронного луча меньшего диаметра, более когерентного и с максимальной плотностью тока или яркостью до трех порядков величины., чем может быть достигнуто с помощью обычных термоэлектронных эмиттеров, таких как нити с наконечниками из вольфрама или гексаборида лантана (LaB. 6) . Результатом как сканирующей, так и просвечивающей электронной микроскопии является значительно улучшенное отношение сигнал / шум и пространственное разрешение, а также значительно увеличенный излучатель. срок службы и надежность по сравнению с термоэмиссионными устройствами.