VMOS

A VMOS () - это тип MOSFET (полевой транзистор металл-оксид-полупроводник). VMOS также используется для описания формы V-образной канавки, вертикально вырезанной в материале подложки. VMOS является аббревиатурой от «вертикальный металлооксидный полупроводник» или «MOS с V-образной канавкой».

Форма «V» затвора MOSFET позволяет устройство для подачи большего количества тока от источника к стоку устройства. Форма области истощения создает более широкий канал, позволяя протекать через него большему току.

Во время работы в режиме блокировки наибольшее электрическое поле возникает на переходе N / p. Наличие острого угла на дне канавки увеличивает электрическое поле на краю канала в области обеднения, тем самым снижая напряжение пробоя устройства. Это электрическое поле запускает электроны в оксид затвора и, следовательно, захваченные электроны смещают пороговое напряжение полевого МОП-транзистора. По этой причине архитектура с V-образной канавкой больше не используется в коммерческих устройствах.

Устройство использовалось как силовое устройство, пока не были представлены более подходящие геометрические формы, такие как UMOS (или Trench-Gate MOS), чтобы снизить максимальное значение электрическое поле в верхней части V-образной формы, что приводит к более высоким максимальным напряжениям, чем в случае VMOS.

Первый MOSFET (без V-образной канавки) был изобретен Мохамедом Аталлой и Давоном Канг в Bell Labs в 1959 году. Конструкция с V-образной канавкой была впервые предложена Дзюн-ичи Нисидзава в 1969 году, первоначально для транзистора статической индукции (SIT), типа JFET (переход полевой транзистор ).

VMOS был изобретен Hitachi в 1969 году, когда они представили первый вертикальный силовой MOSFET в Япония. Т.Дж. Роджерс, когда он был студентом Стэнфордского университета, в 1973 году подал патент США на VMOS. Siliconix коммерчески представила VMOS в 1975 году. Позже VMOS превратилась в то, что стало известно как VDMOS (вертикальный DMOS).

В 1978 году American Microsystems (AMI) выпустила S2811. Это был первый интегральная схема микросхема, специально разработанная как цифровой сигнальный процессор (DSP), и была изготовлена ​​с использованием VMOS, технологии, которая ранее не использовалась массово. uced.

.