Войти
Кремний на сапфире (SOS) - это гетероэпитаксиальный процесс обработки металла -оксид-полупроводник (MOS) интегральная схема (IC) производство, которое состоит из тонкого слоя (обычно менее 0,6 мкм ) толщиной кремний, выращенный на сапфире (пластине Al 2O3) . SOS является частью семейства кремний на изоляторе (SOI) CMOS (дополнительные МОП) технологии.
Как правило, используются искусственно выращенные кристаллы сапфира высокой чистоты. Кремний обычно осаждается путем разложения газообразного силана 7 (SiH 4) на нагретых сапфировых подложках. Преимущество сапфира заключается в том, что он является отличным электрическим изолятором, предотвращающим распространение паразитных токов, вызванных излучением, на близлежащие объекты. Элементы схемы. SOS столкнулась с ранними проблемами в промышленном производстве из-за трудностей в изготовлении очень маленьких транзисторов, используемых в современных высокоплотных транзисторах приложения. Это связано с тем, что процесс SOS приводит к образованию дислокаций, дефектов двойникования и упаковки из-за несоответствий кристаллической решетки между сапфиром и кремнием. Кроме того, имеется некоторое количество алюминия, легирующей примеси p-типа, загрязнения из подложки в кремнии, ближайшем к границе раздела.
В 1963 году Гарольд М. Манасевит первым задокументировал эпитаксиальный рост кремния на сапфире, работая в подразделении Autonetics компании North American Aviation. (ныне Boeing ). В 1964 году он вместе с коллегой Уильямом Симпсоном опубликовал свои открытия в «Журнале прикладной физики». В 1965 году К.В.Мюллер и П.Х. Робинсон из RCA Laboratories изготовил MOSFET (полевой транзистор металл-оксид-полупроводник) с использованием процесса кремний-на-сапфире.
SOS был впервые использован в аэрокосмической и военной приложениях из-за присущей ему устойчивости к радиации. Совсем недавно компания Peregrine Semiconductor сделала запатентованные усовершенствования в обработке и проектировании SOS, что позволило коммерциализировать SOS в больших объемах для высокопроизводительных радиочастотных (RF) приложений.
Микрочип «кремний на сапфире», разработанный e-Lab Преимущества технологии SOS позволяют исследовательским группам создавать различные схемы и системы SOS, которые извлекают выгоду из этой технологии и продвигаются вперед. новейшие разработки:
Кремний на сапфировом давлении Преобразователь, преобразователь давления и мембраны датчика температуры производятся с использованием запатентованного процесса Арменом Сахагеном с 1985 года. высокие температуры окружающей среды помогли продвинуть эту технологию вперед. Эта технология SOS лицензирована во всем мире. Компания ESI Technology Ltd. в Великобритании разработала широкий спектр датчиков давления и датчиков давления, в которых используются выдающиеся свойства кремния на сапфире.
Peregrine Semiconductor использовала технологию SOS для разработки ВЧ интегральных схем (RFIC), включая переключатели RF, цифровые ступенчатые аттенюаторы (DSA), синтезаторы частоты с фазовой автоподстройкой частоты (PLL), предделители, смесители / преобразователи с повышением частоты и переменные- усилители усиления. Эти RFIC предназначены для коммерческих радиочастотных приложений, таких как мобильные телефоны и сотовая инфраструктура, широкополосные потребители и ЦТВ, испытания и измерения, а также промышленная общественная безопасность, а также радиопромышленность аэрокосмическая промышленность и защита рынки.
Применение эпитаксиального выращивания кремния на сапфировых подложках для изготовления MOS-устройств включает процесс очистки кремния, который устраняет дефекты кристаллов, возникающие из-за несоответствия решеток сапфира и кремния. Например, переключатель SP4T Peregrine Semiconductor сформирован на подложке SOS, где конечная толщина кремния составляет приблизительно 95 нм. Кремний углубляется в областях за пределами пакета затворов из поликремния за счет полиоксидации и дополнительно углубляется в процессе формирования прокладки боковой стенки до толщины приблизительно 78 нм.
