Войти
Чистое помещение, используемое для производства микросистем. желтое (красно-зеленое) освещение необходимо для фотолитографии, чтобы предотвратить нежелательное воздействие на фоторезист светом с более короткими длинами волн. 
Чистое помещение снаружи 
Вход в чистое помещение без воздушного душа 
Чистое помещение для производства микроэлектроники с блоками фильтрации вентилятора, установленными в потолочной решетке 
Кабина чистого помещения для точных измерительных инструментов 
Типичная головная одежда для чистых помещений A чистое помещение или чистое помещение - это объект, обычно используемый как часть специализированного промышленного производства или научных исследований, включая производство фармацевтических изделий, интегральных схем, ЭЛТ, ЖКД, OLED и microLED дисплеи. Чистые помещения предназначены для поддержания крайне низкого уровня твердых частиц, таких как пыль, переносимые по воздуху организмы или испаренные частицы. Чистые помещения обычно имеют уровень чистоты, количественно определяемый количеством частиц на кубический метр при заранее определенной молекулярной мере. Окружающий наружный воздух в типичной городской местности содержит 35000000 частиц на каждый кубический метр в диапазоне размеров 0,5 мкм и более при измерении, что эквивалентно чистому помещению ISO 9, в то время как для сравнения чистое помещение ISO 1 не допускает частиц в этом диапазоне размеров и только 12 частиц на каждый кубический метр 0,3 мкм и менее.
Современное чистое помещение было изобретено американским физиком Уиллисом Уитфилдом. Будучи сотрудником Sandia National Laboratories, Уитфилд разработал первоначальные планы для чистого помещения в 1960 году. До изобретения Уитфилда в более ранних чистых помещениях часто возникали проблемы с частицами и непредсказуемыми потоками воздуха. Уитфилд спроектировал свое чистое помещение с постоянным потоком воздуха с высокой степенью фильтрации для вымывания загрязнений. В течение нескольких лет современное чистое помещение Уитфилда, изобретенное в 1960-х годах, принесло во всем мире более 50 миллиардов долларов продаж (сегодня это примерно 406 миллиардов долларов).
Большинство предприятий по производству интегральных схем в Кремниевой долине было создано тремя компаниями: MicroAire, PureAire и Key Plastics. Эти конкуренты производили установки с ламинарным потоком, перчаточные боксы, чистые комнаты и воздушные души, а также химические резервуары и скамейки, используемые в строительстве интегральных схем «мокрого процесса». Эти три компании были пионерами в использовании тефлона для пневматических пистолетов, химических насосов, скрубберов, водяных пистолетов и других устройств, необходимых для производства интегральных схем. Уильям (Билл) К. МакЭлрой-младший работал менеджером по проектированию, руководителем редакционного отдела, QA / QC и дизайнером для всех трех компаний, и его проекты добавили 45 оригинальных патентов к технологиям того времени. МакЭлрой также написал четырехстраничную статью для журнала MicroContamination Journal, руководства по обучению влажной обработке и руководства по оборудованию для влажной обработки и чистых помещений.
Чистые помещения могут быть очень большими. Все производственные помещения можно разместить в чистом помещении с производственными цехами, занимающими тысячи квадратных метров. Они широко используются в производстве полупроводников, солнечных панелях, аккумуляторных батареях, светодиодах, LCD и <158.>OLED производство дисплеев, биотехнология, науки о жизни и другие области, которые очень чувствительны к загрязнению окружающей среды. Существуют также модульные чистые помещения.
Наружный воздух, поступающий в чистое помещение, фильтруется и охлаждается несколькими наружными устройствами обработки воздуха с использованием более тонких фильтров для исключения пыли и воздуха внутри постоянно рециркулирует через блоки фильтров вентилятора, содержащие высокоэффективный воздух твердых частиц (HEPA ), MERV 17-20 и / или воздух со сверхнизким содержанием твердых частиц (ULPA ) фильтры для удаления внутренних загрязнителей. Специальные осветительные приборы, стены, оборудование и другие материалы используются для минимизации образования частиц в воздухе. Пластиковые листы могут использоваться для ограничения турбулентности воздуха. Температура и влажность воздуха в чистом помещении строго контролируются. Статическое электричество можно контролировать с помощью ионизирующих стержней. В чистых помещениях также может быть множество систем сейсмической изоляции для предотвращения дорогостоящего сбоя оборудования.
Персонал входит и выходит через шлюзы (иногда включая воздушный душ этап) и носите защитную одежду, такую как капюшоны, маски для лица, перчатки, обувь и комбинезон. Это сделано для того, чтобы свести к минимуму перенос твердых частиц человеком, входящим в чистое помещение.
Оборудование в чистом помещении спроектировано таким образом, чтобы загрязнение воздуха было минимальным. Используются только специальные швабры и ведра. Мебель для чистых помещений спроектирована так, чтобы выделять минимум частиц, и ее легко чистить.
Выбор материала для строительства чистого помещения не должен приводить к образованию каких-либо частиц, поэтому предпочтительнее монолитное эпоксидное или полиуретановое покрытие для пола. Используются сэндвич-панели и потолочные панели из полированной нержавеющей стали или мягкой стали с порошковым покрытием. Углы, такие как стена к стене, стена к полу, стена к потолку, избегаются за счет обеспечения скошенной поверхности, и все стыки необходимо заделать эпоксидным герметиком, чтобы избежать осаждения или образования частиц на стыках.
Обычные материалы, такие как бумага, карандаши и ткани, изготовленные из натуральных волокон, часто исключаются, и используются альтернативы. Чистые помещения не являются стерильными (т.е. свободными от неконтролируемых микробов); контролируются только частицы в воздухе. Уровни частиц обычно проверяются с помощью счетчика частиц, а микроорганизмы обнаруживаются и подсчитываются с помощью методов мониторинга окружающей среды. Полимерные инструменты, используемые в чистых помещениях, должны быть тщательно проверены на химическую совместимость с технологическими жидкостями для чистых помещений, а также с обеспечением низкого уровня образования частиц.
В некоторых чистых помещениях поддерживается положительное давление, поэтому в случае утечки воздух выходит из камеры. поступающего нефильтрованного воздуха.
Некоторые системы чистых помещений HVAC регулируют влажность до такого низкого уровня, что для этого требуется дополнительное оборудование, такое как ионизаторы воздуха. предотвратить электростатический разряд.
Для чистых помещений низкого уровня может потребоваться только специальная обувь с полностью гладкой подошвой, которая не оставляет следов в пыли или грязи. Однако из соображений безопасности подошвы обуви не должны создавать опасности поскользнуться. Доступ в чистое помещение обычно ограничен теми, кто одет в костюм для чистых помещений .
. В чистых помещениях, в которых стандарты загрязнения воздуха менее строгие, на входе в чистое помещение может отсутствовать воздушный душ. Прихожая (известная как «серая комната») используется для надевания одежды для чистых помещений.
Некоторые производственные предприятия не используют полностью реализованные чистые помещения, но используют некоторые методы или технологии, типичные для чистых помещений, для удовлетворения своих требований по загрязнению.
В больницах, театры похожи на чистые помещения для операций хирургических пациентов с разрезами для предотвращения любых инфекций у пациента.
Схема воздушного потока для "Турбулентного чистого помещения" 
Схема воздушного потока для "Ламинарный поток Чистое помещение" Чистые помещения поддерживают воздух без твердых частиц за счет использования фильтров HEPA или ULPA, использующих принцип ламинарного или турбулентного потока воздуха. Ламинарные или однонаправленные системы воздушного потока направляют профильтрованный воздух вниз или в горизонтальном направлении в постоянном потоке к фильтрам, расположенным на стенах возле пола чистого помещения, или через возвышающиеся перфорированные панели пола для рециркуляции. Системы ламинарного воздушного потока обычно используются на 80% потолка чистого помещения для поддержания постоянной обработки воздуха. Для изготовления фильтров и колпаков с ламинарным воздушным потоком используется нержавеющая сталь или другие не осыпающиеся материалы, предотвращающие попадание в воздух избыточных частиц. В турбулентном или неоднонаправленном потоке воздуха используются как колпаки с ламинарным потоком воздуха, так и фильтры с неспецифической скоростью, чтобы воздух в чистом помещении оставался в постоянном движении, хотя и не в одном направлении. Грубый воздух улавливает частицы, которые могут находиться в воздухе, и направляет их к полу, где они попадают в фильтры и покидают чистую комнату. Управление по санитарному надзору за качеством пищевых продуктов и медикаментов США и ЕС установили очень строгие правила и ограничения для микробного загрязнения, чтобы гарантировать отсутствие микробного загрязнения в фармацевтических продуктах. Пленочные камеры между кондиционерами и фильтрами вентилятора вместе с липкими ковриками также могут использоваться.
Помимо воздушных фильтров, чистые помещения могут также использовать ультрафиолет для дезинфекции воздуха. УФ-устройства можно встраивать в потолочные светильники и облучать воздух, убивая потенциально инфекционные частицы, включая 99,99% переносимых по воздуху микробных и грибковых загрязнителей. Ультрафиолетовый свет ранее использовался для очистки поверхностей от загрязнений в стерильных средах, таких как операционные в больницах. Их использование в других чистых помещениях может возрасти по мере того, как оборудование станет более доступным. Потенциальные преимущества обеззараживания на основе ультрафиолетового излучения включают меньшую зависимость от химических дезинфицирующих средств и продление срока службы фильтров HVAC.
Самая большая угроза заражению чистых помещений исходит от самих пользователей. В секторе здравоохранения и фармацевтики важен контроль над микроорганизмами, особенно с микроорганизмами, которые могут попасть в воздушный поток из-за кожных покровов. Изучение микрофлоры чистых помещений важно для микробиологов и сотрудников службы контроля качества, чтобы оценить изменения в тенденциях. Сдвиги в типах микрофлоры могут указывать на отклонения от «нормы», такие как наличие устойчивых штаммов или проблемы с практикой очистки.
При оценке микроорганизмов чистых помещений типичная флора - это в первую очередь те, которые связаны с кожей человека (грамположительные кокки), хотя микроорганизмы из других источников, таких как окружающая среда (грамположительные палочки) и вода (грамотрицательные палочки) также обнаруживаются, хотя и в меньшем количестве. Общие бактериальные роды включают Micrococcus, Staphylococcus, Corynebacterium и Bacillus, а роды грибов включают Aspergillus и Penicillium.
Технологический отсек для чистых помещений KSC Комплекс обработки космической станции. НАСА поддерживает стандарт класса 100 000 в SSPF . Чистые помещения классифицируются в соответствии с количеством и размером частиц, допускаемых на объем воздуха. Большие числа, такие как «класс 100» или «класс 1000», относятся к FED-STD-209E и обозначают количество частиц размером 0,5 мкм или более, разрешенное на кубический фут воздуха. Стандарт также допускает интерполяцию; например, SNOLAB поддерживается как чистое помещение класса 2000.
Дискретный счетчик светорассеивающих частиц в воздухе используется для определения концентрации взвешенных в воздухе частиц, равных указанным размерам и превышающих их, в обозначенных местах отбора проб.
Маленькие числа относятся к стандартам ISO 14644-1, которые определяют десятичный логарифм количества частиц размером 0,1 мкм или более, разрешенных на 1 м воздуха. Так, например, чистое помещение класса 5 по ISO содержит не более 10 частиц / м 2.
И FS 209E, и ISO 14644-1 предполагают логарифмическую взаимосвязь между размером частиц и концентрацией частиц. По этой причине нулевой концентрации частиц не существует. Некоторые классы не требуют тестирования некоторых размеров частиц, потому что концентрация слишком низкая или слишком высокая, чтобы ее можно было проверить на практике, но такие пробелы не должны считаться нулевыми.
Поскольку 1 м составляет около 35 футов, два стандарта в основном эквивалентны при измерении частиц размером 0,5 мкм, хотя стандарты тестирования различаются. Обычный воздух в помещении относится к классу 1000000 или ISO 9.
ISO 14644-1 и ISO 14698 являются негосударственными. стандарты, разработанные Международной организацией по стандартизации (ISO). Первое относится к чистым помещениям в целом (см. Таблицу ниже); последнее - в чистые помещения, где биологическое заражение может быть проблемой.
ISO 14644-1 определяет максимальную концентрацию частиц для каждого класса и размера частиц по следующей формуле:
Где 
| Класс | Максимальное количество частиц / м | FED STD 209E. эквивалент | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ≥0,1 мкм | ≥0,2 мкм | ≥0,3 мкм | ≥0,5 мкм | ≥1 мкм | ≥5 мкм | ||
| ISO 1 | 10 | ||||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | ||||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | Класс 1 | ||
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Класс 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | Класс 100 | |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Класс 1000 |
| ISO 7 | 352000 | 83,200 | 2,930 | Класс 10000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Класс 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | Комнатный воздух | |||
| Все концентрации в таблице являются кумулятивными, например для класса 5 ISO 10 200 частиц размером 0,3 мкм включают все частицы, равные и превышающие этот размер.. Эти концентрации приводят к большим объемам проб воздуха для классификации. Может применяться процедура последовательного отбора проб; см. приложение D.. Пределы концентрации неприменимы в этой области таблицы из-за очень высокой концентрации частиц.. Отбор проб и статистические ограничения для частиц в низких концентрациях делают классификацию неприемлемой.. Ограничения отбора проб для обеих частиц в низких концентрациях и размерах более 1 мкм делают классификацию частиц этого размера неприемлемой из-за потенциальных потерь частиц в системе отбора проб.. Чтобы указать этот размер частиц в соответствии с классом 5 ISO, дескриптор макрочастиц M может быть адаптированы и используются по крайней мере с одним другим размером частиц. (См. C.7.) | |||||||
US FED-STD-209E был федеральным стандартом США. Он был официально отменен Администрацией общих служб 29 ноября 2001 г., но до сих пор широко используется.
| Класс | Максимальное количество частиц на фут | ISO. эквивалент | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ≥0,1 мкм | ≥0,2 мкм | ≥0,3 мкм | ≥0,5 мкм | ≥5 мкм | ||
| 1 | 35 | 7,5 | 3 | 1 | 0,007 | ISO 3 |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 0,07 | ISO 4 |
| 100 | 3,500 | 750 | 300 | 100 | 0,7 | ISO 5 |
| 1000 | 35000 | 7,500 | 3000 | 1000 | 7 | ISO 6 |
| 10,000 | 350,000 | 75,000 | 30,000 | 10,000 | 70 | ISO 7 |
| 100,000 | 3,5 × 10 | 750,000 | 300,000 | 100,000 | 830 | ISO 8 |
. Текущие регулирующие органы включают: ISO, USP 800, US FED STD 209E (предыдущий стандарт, все еще используется)
Директивы GMP ЕС более строги, чем другие, и требуют, чтобы чистые помещения соответствовали количеству частиц при эксплуатации (во время производственного процесса) и в состоянии покоя когда производственный процесс не ведется, но комната AHU включена).
| Класс | Максимальное количество частиц / м | |||
|---|---|---|---|---|
| В состоянии покоя | В рабочем состоянии | |||
| 0,5 мкм | 5 мкм | 0,5 мкм | 5 мкм | |
| Класс A | 3,520 | 20 | 3520 | 20 |
| Класс B | 3,520 | 29 | 352,000 | 2,900 |
| Уровень C | 352,000 | 2,900 | 3,520,000 | 29,000 |
| Класс D | 3,520,000 | 29,000 | Не определено | Не определено |
BS 5295 - это британский стандарт.
| класс | Максимальное количество частиц / м | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ≥0,5 мкм | ≥1 мкм | ≥5 мкм | ≥10 мкм | ≥25 мкм | ||
| класс 1 | 3000 | 0 | 0 | 0 | ||
| класс 2 | 300000 | 2000 | 30 | |||
| Класс 3 | 1,000,000 | 20,000 | 4,000 | 300 | ||
| Класс 4 | 200,000 | 40,000 | 4,000 | |||
BS 5295 Class 1 также требует, чтобы самая большая частица, присутствующая в любом образце, не превышала 5 мкм. BS 5295 был заменен, снят с 2007 года и заменен на «BS EN ISO 14644-6: 2007».
.
USP 800 - это стандарт США, разработанный Соединенными Штатами. Фармакопейная конвенция штата (USP) с датой вступления в силу 1 декабря 2019 г..
Технологический портал  | На Викискладе есть материалы, относящиеся к Чистым помещениям. |
