Войти
Борофосфосиликатное стекло, широко известный как BPSG, представляет собой тип силикатного стекла, которое включает добавки как бора, так и фосфора. Силикатные стекла, такие как PSG и борофосфосиликатное стекло, обычно используются при изготовлении полупроводниковых устройств для интерметаллических слоев, то есть изолирующих слоев, нанесенных между последовательно более высокими металлическими или проводящими слоями.
BPSG был причастен к увеличению восприимчивости устройства к мягким ошибкам, поскольку изотоп бора-10 хорошо улавливает тепловые нейтроны от космического излучения. Затем он подвергается делению с образованием гамма-излучения, альфа-частицы и иона лития. Эти продукты могут затем сбрасывать заряд в близлежащие структуры, вызывая потерю данных (переключение битов или сбой единичного события ).
В критических конструкциях используется обедненный бор, почти полностью состоящий из бора-11, чтобы избежать этого эффекта в качестве меры радиационного упрочнения. Бор-11 является побочным продуктом ядерной промышленности.
.
.
