Войти
Измерение линии передачи или Измерение длины переноса - это метод, используемый в полупроводниках физике и инженерии для определения контактного сопротивления между металлом. и полупроводник. Этот метод включает создание серии контактов металл-полупроводник, разделенных разным расстоянием.
Зонды применяются к парам контактов, и сопротивление между ними измеряется путем приложения напряжения между ними. контактов и измерения результирующего тока. Ток течет от первого зонда к металлическому контакту через переход металл-полупроводник, через лист полупроводника, снова через переход металл-полупроводник (за исключением этого раза в другом направлении), в второй контакт, а оттуда во второй зонд и во внешнюю цепь, подлежащую измерению с помощью амперметра. Измеренное сопротивление представляет собой линейную комбинацию (сумму) контактного сопротивления первого контакта, контактного сопротивления второго контакта и поверхностного сопротивления полупроводника между контактами.
Когда выполняется несколько таких измерений между парами контактов, разделенных разным расстоянием, можно получить график сопротивления сопротивления в зависимости от расстояния между контактами. Затем расстояние между контактами можно выразить в терминах отношения L / W - где L и W - длина и ширина области между контактами - такой график должен быть линейным с наклон линии линии представляет собой сопротивление листа. Участок точки пересечения линии с осью y в два раза превышает сопротивление контакта. Таким образом, с помощью этого метода можно определить сопротивление листа, а также сопротивление контакта.
.
