Войти
Миграция напряжений - это механизм отказа, который часто возникает при металлизации интегральных схем ( алюминий, медь ). Пустоты образуются в результате миграции вакансий под действием градиента гидростатического напряжения. Большие пустоты могут привести к обрыву цепи или недопустимому увеличению сопротивления, что ухудшит работу ИС. «Миграцию стресса часто называют стрессовым опорожнением, вызванным стрессом опорожнением или SIV.
Высокотемпературная обработка медных двойных дамаскиновых структур оставляет медь с большим растягивающим напряжением из-за несоответствия в коэффициентах теплового расширения используемых материалов. Напряжение может со временем ослабиться за счет диффузии вакансий, что приведет к образованию пустот и, в конечном итоге, к отказу цепи.
