Напряженный кремний прямо на изоляторе

Напряженный кремний непосредственно на изоляторе (SSDOI) - это процедура, разработанная IBM, которая удаляет слой кремния- германия в процессе напряженного кремния, оставляя напряженный кремний непосредственно на изоляторе. Напротив, напряженный кремний на SGOI обеспечивает напряженный слой кремния на релаксированном слое кремния-германия на изоляторе, как это разработано в Массачусетском технологическом институте.