Войти
FOUP - это аббревиатура от F ront O pening U nified P od или F ront O pening U niversal Pod.
Это специальный пластиковый корпус, предназначенный для хранения силикона пластины надежно и безопасно в контролируемой среде и позволяют переносить пластины между машинами для обработки или измерения. FOUP начали появляться вместе с первыми 300-миллиметровыми инструментами для обработки пластин в середине 1990-х годов. Размер пластин и их сравнительное отсутствие жесткости означало, что SMIF не было жизнеспособной технологией. FOUP были разработаны с учетом ограничений в 300 мм, при этом съемная кассета была заменена ребрами в FOUP, которые удерживают пластины на месте, а нижняя открывающаяся дверца заменена передней открывающейся дверцей, чтобы механизмы обработки роботов могли получить доступ к пластинам. прямо из FOUP. Вес полностью загруженных 25 пластин FOUP около 9 кг означает, что автоматизированные системы обработки материалов необходимы для всех заводов, кроме самых маленьких. Для этого каждый FOUP имеет различные соединительные пластины, штифты и отверстия, позволяющие разместить FOUP на порте нагрузки и управлять им с помощью AMHS (). FOUP могут также содержать теги RF, которые позволяют распознавать их читателями на инструментах, в AMHS и т. Д. FOUP доступны в нескольких цветах, в зависимости от желания клиента. Оборудование для производства FOUP и интегральных схем может иметь азотную атмосферу в целях увеличения выхода устройства .
Открывающаяся спереди транспортировочная коробка (передняя сторона) FOSB - это аббревиатура от F ront O pening S hipping B ox, используется для передачи пластин между производственными предприятиями.
.
