Войти
Стандарт обмена Open Artwork System Interchange (OASIS ) - это язык, используемый компьютерами для представления и выражения электронного рисунка интегральной схемы во время ее проектирования и производства. Язык определяет код, необходимый для геометрических фигур, таких как прямоугольники, трапеции и многоугольники. Он определяет тип свойств, которые может иметь каждое из них, то, как они могут быть организованы в ячейки, содержащие шаблоны, созданные этими формами, и определяет, как каждое из них может быть размещено относительно друг друга.
OASIS является предполагаемым коммерческим преемником GDSII.
GDSII был создан в 1970-х годах, когда конструкции интегральных схем имели несколько сотен тысяч геометрических форм, свойств и размещений, которыми нужно было управлять. Сегодня можно управлять миллиардами форм, свойств и размещений. Создатели и пользователи OASIS утверждали, что рост возможностей хранения и обработки данных на рабочих станциях намного опережал рост сложности компоновки интегральных схем. Поэтому OASIS пытается решить предполагаемую проблему большого размера файлов GDSII, вводя сложные типы геометрических форм (только 25 типов трапеций) для уменьшения размера данных. Также был реализован числовой формат переменной длины (аналогичный кодировке длин серий ) для координат. Наконец, каждая ячейка в файле OASIS может быть независимо сжата с помощью алгоритма, подобного gzip.
Работа по созданию формата OASIS началась в июне 2001 года. Выпуск версии 1.0 состоялся в марте 2004 года. Для ее использования потребовалась разработка новых считывающих и пишущих устройств OASIS, которые уже могли быть связаны с оборудованием для проектирования и производства. оснащены считывателями и писателями GDSII. Его принятие было результатом совместных усилий разработчиков интегральных схем, оборудования, фотошаблонов, фабрик, интеллектуальной собственности (IP) третьих сторон и производственных компаний из США, Японии, Тайваня, Кореи и Европы.
Ограниченная версия OASIS, называемая, удовлетворяет уникальные потребности оборудования для производства полупроводниковых фотошаблонов, такого как генераторы шаблонов и системы контроля. И OASIS, и OASIS.MASK являются отраслевыми стандартами.
Это представление называется представлением ячеек. Ячейка может представлять собой набор размещенных геометрических фигур. Это также может быть набор ячеек; каждый из них содержит другие ячейки и / или геометрические фигуры. В каждой ячейке должен быть хотя бы один слой. В этом представлении каждый цвет представляет отдельный слой внутри ячейки. Интегральная схема может содержать десятки тысяч уникальных ячеек и повторяющихся экземпляров одной и той же ячейки. Ниже приведено удобочитаемое текстовое представление двоичного файла OASIS, которое позволило выразить вышеупомянутый вид «верхней» ячейки под названием «Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell ". Верхняя ячейка определяется стандартной записью PROPERTY уровня файла с именем S_TOP_CELL. Запись PROPERTY ниже ссылается на запись PROPNAME (refNum = 0), которая имеет строку имени свойства с именем S_TOP_CELL. Верхняя ячейка содержит размещение трех ячеек, называемых «нижними ячейками». Нижние ячейки содержат только геометрические фигуры.
Каждая строка представленного ниже представления OASIS содержит (слева) номер записи и тип записи, за которыми следует набор значений, определяющих этот тип записи. Например, первая запись RECTANGLE ниже определяет следующий тип формы прямоугольника, его размер и его абсолютное расположение:
В этой записи RECTANGLE отсутствует опция для описания местоположений повторяющихся экземпляров прямоугольника. Кроме того, этот тип записи позволяет описывать квадрат, определяя только значение ширины. Чтобы включить эти описания, необходимо установить то, что называется битовой комбинацией для записи RECTANGLE. Для записи RECTANGLE битовый шаблон (либо 1 (включен), либо 0 (отключен)):
SWHXYRDL (квадрат, ширина, высота, координата X, координата Y, повторение, тип данных, Слой-номер).
Для этой записи RECTANGLE битовый шаблон установлен на 0WHXY0DL (не квадрат, ширина, высота, координата X, координата Y, не повторяется, тип данных, номер слоя). Первая и вторая записи RECTANGLE в ячейке Cell_Placed_Shapes_2 (CELL refNum = 1) определяют повторяющиеся экземпляры прямоугольника. Первая запись RECTANGLE (SW0XYRDL) использует повторение типа 10 (rep = rep10). Вторая запись RECTANGLE (0WHXYR0L) использует повторение типа 11 (rep = Rep11). Всего существует одиннадцать типов повторения (Rep1-Rep11). Во втором шаблоне битов записи RECTANGLE тип данных (D) был установлен на '0', потому что тот же тип данных используется в первая запись RECTANGLE применяется ко второй записи RECTANGLE. Другие поддерживаемые OASIS геометрические фигуры, имеющие типы записей POLYGON, TRAPEZOID, CTRAPEZOID, CIRCLE и PATH, определяются разными битовыми шаблонами.
Согласно записям CELLNAME ниже, нижние ячейки имеют следующие строки имен ячеек "Cell_Placed_Shapes_1,... _2 и... _3 ". Каждый номер слоя, который был назначен геометрической фигуре, связан с записью LAYERNAME, которая определяет интервал слоя и строку имени слоя. В этом представлении строка имени слоя, Layer_Color_Mapping, определяет слой интервалы, используемые в таблице цветов слоя «layercolormap.data».
Приведенный ниже пример не предназначался для исчерпывающего описания языка OASIS. Цель заключалась в том, чтобы дать заинтересованному читателю общее представление о масштабах язык OASIS и то, как он применяется к представлению и выражению шаблонов электронных схем, определяющих интегральную схему.
- MAGIC "% SEMI-OASIS \ 015 \ 012 1 START version =" 1.0 "unit = real0 (1000) offsetFlag = 0 смещения = [(0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0)] 28 СОБСТВЕННОСТЬ 00010CNS refNum = 0 count = ( 1) string12 ("Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell") 7 PROPNAME name = "S_TOP_CELL" refNum = (0) 3 CELLNAME name = "Cell_Placed_Shapes_1" refNum = (0) 3 CELLNAME name = "Cell_Placed_Shapes_2" refNNAME 3 CELLNAME name = "Cell_Placed_Shapes_3" refNum = (2) 3 CELLNAME name = "Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell" refNum = (3) 11 LAYERNAME name = "Layer_Color_Mapping" слоев = 3 (25:25) типов данных LAYERNAME = 0atypes = = "Layer_Color_Mapping" sizes = 4 (41:46) datatypes = 1 (0: 0) 11 LAYERNAME name = "Layer_Color_Mapping" Layers = 3 (49:49) datatypes = 1 (0: 0) 11 LAYERNAME name = "Layer_Color_Mapping" слои = 3 (63:63) типы данных = 1 (0: 0) 13 ЯЧЕЙКА refNum = 3 17 РАЗМЕЩЕНИЕ CNXY0000 refNum = 0 x = 0 y = 0 17 РАЗМЕЩЕНИЕ CNXY0000 refNum = 1 x = 0 y = 0 17 РАЗМЕЩЕНИЕ CNXY0000 refNum = 2 x = 0 y = 0 13 CELL refNum = 0 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY0DL слой = 41 тип данных = 1 ширина = 3960 высота = 1980 x = -440 y = -220 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 00H0Y00L слой = 42 высота = 2420 y = 1760 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY00L слой = 63 ширина = 3080 высота = 3960 x = 0 y = 0 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY00L слой = 43 ширина = 2255 высота = 55 x = 110 y = 605 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 2860 высота = 330 y = 660 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 00H0Y000 высота = 110 y = 2530 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 2750 высота = 220 y = 2640 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 2255 высота = 550 y = 2860 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY000 ширина = 330 высота = 440 x = 2035 y = 165 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 935 высота = 220 y = 2310 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 330 высота = 385 y = 3410 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК S00XY000 x = 2585 y = 3465 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY00L слой = 44 ширина = 3330 высота = 1665 x = -125 y = 1760 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 2670 высота = 410 y = 3425 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 3330 высота = 250 y = 3835 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY000 ширина = 250 высота = 410 x = 2955 y = 3425 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY00L слой = 45 ширина = 3330 высота = 1885 x = -125 y = -125 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК SW0XY000 ширина = 410 x = 2545 y = 3425 13 ЯЧЕЙКА refNum = 1 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК SW0XYRDL layer = 25 datatype = 0 width = 160 x = 195 y = 690 rep = rep10 [dim = 15 disp = (g (0,1430) g (0,1045) g (550, -1375) g (220, -) 550) г (165, -495) г (0,1870) г (165, -495) г (825, -1870) г (0,3300) г (275, -1980) г (165,1540) г ( 110,440) г (55, -2805) г (0,1650))] 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXYR0L слой = 46 ширина = 340 высота = 220 x = 105 y = 2030 rep = rep11 [dim = 3 сетка = 10 disp = (g ( 55, -21) g (165, -22))] 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0YR00 ширина = 505 высота = 120 y = 2250 rep = rep10 [dim = 3 disp = (g (2365, -1100) g (0,880))] 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0W0XY000 ширина = 285 x = 325 y = 1370 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WH0Y000 ширина = 120 высота = 540 y = 1490 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 00HXY000 высота = 1045 x = 490 y = 325 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 00H0YR00 высота = 1320 y = 2370 rep = rep2 [xdim = 2 dx = 935] 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY000 ширина = 890 высота = 120 x = 655 y = 1700 20 ПРЯМОУГОЛЬНИК 0WHXY000 ширина = 120 высота = 825 x = 875 y = 325 20 RECTANGLE SW00YR00 width = 340 y = 1150 rep = rep10 [dim = 3 disp = (g (330,880) g (1265,990))] 2 ENDOASIS и OASIS.MASK теперь являются формальными отраслевыми стандартами. Оба принадлежат и обслуживаются организацией по торговле и стандартам SEMI. SEMI обслуживает промышленность по производству полупроводниковых материалов и оборудования по всему миру.
Платные спецификации для SEMI P39 OASIS и SEMI P44 OASIS.MASK можно загрузить с веб-сайта SEMI.
