Вторичные электроны - это электроны, генерируемые как продукты ионизации. Их называют «вторичными», потому что они генерируются другим излучением (первичное излучение ). Это излучение может быть в форме ионов, электронов или фотонов с достаточно высокой энергией, то есть превышающей потенциал ионизации. Фотоэлектроны можно рассматривать как пример вторичных электронов, где первичным излучением являются фотоны; в некоторых дискуссиях фотоэлектроны с более высокой энергией (>50 эВ) все еще считаются «первичными», в то время как электроны, освобожденные фотоэлектронами, являются «вторичными».
Средняя длина свободного пробега электронов с низкой энергией. Считается, что вторичные электроны имеют энергию ниже 50 эВ. Скорость потери энергии при рассеянии электронов очень мала, поэтому большинство высвобождаемых электронов имеют максимальную энергию ниже 5 эВ (Seiler, 1983).Вторичные электроны также являются основным средством просмотра изображений в растровый электронный микроскоп (СЭМ). Диапазон вторичных электронов зависит от энергии. График неупругой длины свободного пробега как функции энергии часто показывает характеристики «универсальной кривой», знакомые электронным спектроскопистам и аналитикам поверхностей. Это расстояние составляет порядка нескольких нанометров для металлов и десятков нанометров для изоляторов. Это небольшое расстояние позволяет достичь такого высокого разрешения в SEM.
Для SiO 2, для энергии первичных электронов 100 эВ, диапазон вторичных электронов составляет до 20 нм от точки падения.