Международная технологическая дорожная карта для полупроводников (ITRS ) - это набор документов, подготовленных группой полупроводниковой промышленности эксперты. Эти эксперты являются представителями организаций-спонсоров, в том числе Ассоциаций полупроводниковой промышленности США, Европы, Японии, Китая, Южной Кореи и Тайваня..
В подготовленных документах содержится следующий отказ от ответственности: «ITRS разработан и предназначен только для оценки технологий и без учета каких-либо коммерческих соображений, касающихся отдельных продуктов или оборудования».
Документы представляют собой наилучшее мнение о направлениях исследований и временные рамки примерно до 15 лет в будущем для следующих областей технологий:
По состоянию на 2017 год ITRS больше не обновляется. Его преемником является Международный план развития устройств и систем.
Для создания интегральной схемы или любого полупроводникового устройства требуется ряд операций - фотолитография, травление, осаждение металла и так далее. По мере развития отрасли каждая из этих операций обычно выполнялась на специализированных машинах, построенных различными коммерческими компаниями. Эта специализация может потенциально затруднить развитие отрасли, поскольку во многих случаях для одной компании бесполезно вводить новый продукт, если другие необходимые шаги недоступны примерно в то же время. Дорожная карта технологий может помочь в этом, давая представление о том, когда потребуются определенные возможности. Затем каждый поставщик может наметить эту дату для своего кусочка головоломки.
С постепенной передачей производственных инструментов поставщикам специализированного оборудования возникла необходимость в четкой дорожной карте, чтобы предвидеть развитие рынка и планировать и контролировать технологические потребности производства ИС. В течение нескольких лет Ассоциация полупроводниковой промышленности (SIA) передала эту ответственность за координацию Соединенным Штатам, что привело к созданию дорожной карты в американском стиле, Национальной дорожной карты технологий для полупроводников (NTRS).
Первый план развития полупроводников, опубликованный SIA в 1993 году.В 1998 году SIA приблизился к своим европейским, японским, корейским и тайваньским аналогам, создав первую глобальную дорожную карту: The International Technology Дорожная карта для полупроводников (ITRS). В эту международную группу входят (по состоянию на издание 2003 г.) 936 компаний, входящих в рабочие группы ITRS. Организация была разделена на технические рабочие группы (ТРГ), число которых в конечном итоге увеличилось до 17, каждая из которых фокусировалась на ключевом элементе технологии и связанной с ней цепочке поставок. Традиционно дорожная карта ITRS обновлялась в четные годы и полностью пересматривалась в нечетные годы.
Последняя редакция дорожной карты ITRS была опубликована в 2013 году. Методология и физика, лежащие в основе результатов масштабирования таблиц 2013 года, описаны в проекции дорожной карты транзисторов с использованием прогнозирующего полнополосного атомистического моделирования, которое охватывает полевые МОП-транзисторы с двойным затвором за 15 лет до 2028 года.
С общепризнанное прекращение действия закона Мура и, когда ITRS выпустила в 2016 году свою окончательную дорожную карту, новая инициатива по более обобщенному дорожному картированию была начата в рамках инициативы IEEE Rebooting Computing, названной Международная дорожная карта для устройств и систем (IRDS).
В апреле 2014 года комитет ITRS объявил о реорганизации дорожной карты ITRS, чтобы она лучше соответствовала потребностям промышленность. План состоял в том, чтобы объединить все элементы, включенные в 17 технических рабочих групп, в семь основных тем:
Главы по каждой теме были опубликованы в 2015 году.