Безэлектродное плазменное возбуждение

Методы безэлектродного возбуждения плазмы включают источники геликонной плазмы, индуктивно-связанную плазму и поддерживаемую поверхностными волнами разряжается.

Безэлектродные (HF) имеют два важных преимущества перед плазмой, использующей электроды, например емкостно-связанной плазмой, которые представляют большой интерес для современных исследований плазмы и приложений:

• Во-первых, не происходит распыления электродов. Однако, в зависимости от энергии ионов, распыление стенок реактора или подложки все же может происходить. В условиях, типичных для целей плазменной модификации, энергия ионов в безэлектродных ВЧ-разрядах примерно на порядок ниже, чем в ВЧ-разрядах. Таким образом можно уменьшить загрязнение газовой фазы и повреждение поверхности подложки.
• Во-вторых, эффект поверхностных волн позволяет создавать пространственно протяженную плазму с электронной плотностью, превышающей критическую плотность.