Войти
| Дональд Клейн | |
|---|---|
 | |
| Родился | 19 декабря 1930 г. (возраст 89). Бруклин, Нью-Йорк |
| Национальность | Американец |
| Профессия | Химик |
| Известен | Изобретение MOSFET транзистор |
| Супруг (ы) | Рут Кинцбургер (замужем с 1952 г. по настоящее время) |
| Дети | 6 |
| Награды |
|
Дональд Ли Кляйн (родился 19 декабря 1930 г.) - американский изобретатель и химик, широко известный изобретателем процесса изготовления самовыравнивающийся затвор MOSFET транзистор вместе с Робертом Э. Кервином и Джоном С. Сарасом в 1967 году в Bell Labs.
в 1994 вместе с Кервином и Сараси Кляйн получил награду IEEE Джека А. Мортона (переименованную в 2000 году в Награда Эндрю С. Гроува IEEE ) «За новаторскую работу и основной патент на процесс самовыравнивания кремниевого затвора, ключевой элемент в производстве интегрированных схемы."
В том же году Клейн, Кервин и Сарас были объявлены «Изобретателями года» Залом славы изобретателей Нью-Джерси.
Кляйн родился в Бруклине, Нью-Йорк в семье Калмана Кляйна, венгерского еврея которая иммигрировала в Соединенные Штаты в возрасте 16 лет, и Эмили Фогель, венгерская еврейка американского происхождения.
Брат Дональда Герберт, который был на 7 лет старше, был радиолюбителем с юных лет. Он служил в Второй мировой в качестве радиста на корабле ВМФ.
. На 13-летие Дональда Герберт подарил ему свой первый химический набор (который он получил в результате изучения электротехники ).
Кляйн начал экспериментировать с химическими веществами, собирая больше у членов семьи и покупая свои собственные. В конце концов он построил собственную лабораторию в подвале своих родителей.
После школы Дональд пошел по стопам своего брата, став лицензированным радиолюбителем.
В 1945 году Кляйн посетил Бруклинскую высшую техническую школу, где он прослушал множество курсов химии, включая неорганические, качественные и количественный анализ, органическая химия, физическая химия и химическая инженерия.
После школы Кляйн учился в Политехническом институте Бруклина (сейчас Инженерная школа Тандон Нью-Йоркского университета ). После краткого обсуждения вопросов между Металлургией и неорганической химией, Кляйн решил специализироваться в области неорганической химии. Стремясь объединить свои увлечения химией и электроникой, Кляйн решил исследовать радиочастоты титриметрию для своей дипломной работы, новую область в то время.
По окончании учебы Кляйн начал работать в Sylvania Electric Products Inc. в Бостоне, Массачусетс, чтобы содержать свою новую семью (он женился через неделю после окончания учебы). Кляйн наслаждался пребыванием в Сильвании, где он смог объединить свои увлечения электроникой и химией, работая над твердотельной электроникой. Во время работы в Сильвании Кляйн написал множество статей для QST о применении полупроводниковых устройств.
После 2 лет в Сильвании (которую Кляйн называет своим "последипломным образованием") Кляйн решил продолжить обучение в Университете Коннектикута, работая с доктором Роландом Уордом. кого он встретил во время учебы в бакалавриате. Уорд, которого часто считают отцом химии твердого тела, перешел из Политехнического института Бруклина в Университет Коннектикута. Исследование Кляйна с Уордом, которое было сосредоточено на фотохимии, было опубликовано в Журнале Американского химического общества.
. В 1958 году Кляйн окончил Университет Коннектикута со степенью доктора неорганической химии.
В 1958 году доктор Уорд познакомил Кляйна с хедхантером из Bell Labs, который стремился нанять Кляйна. Кляйн присоединился к Bell Labs в ноябре 1958 года.
Хотя первоначально он был принят на работу в отдел исследований химии, Кляйн начал работать в отделе развития химии, где он работал над разработкой полупроводников.
Кляйн был счастлив работать с одними из самых ярких химиков в мире. Как сказал Кляйн во время интервью с Фондом химического наследия: «Под одной крышей в Мюррей-Хилл было больше экспертов, чем в любом университете, в котором я когда-либо учился или в котором учился с тех пор. всегда найдешь эксперта в каждой области, о которой ты только можешь подумать ». Кляйн назвал свое время в Bell Labs «лучшим последипломным образованием, которое у меня когда-либо было».
Вместе со своими коллегами Клейн работал над разработкой методов травления и способов предотвращения загрязнения в процессе производства полупроводников.
В феврале 1966 года Уиллард Бойл, менеджер высокого уровня в Bell Labs, поставил перед Кляйном проблему. В то время процесс производства интегральных схем требовал 6 или 7 этапов, каждый с уровнем выхода менее 90%, что приводило к неприемлемо низким показателям выхода. То, что было желательно, - это процесс, который будет работать / нет, то есть процесс, в котором вся партия пластин может быть исключена на ранней стадии производственного процесса. После беседы с доктором Бойлом Кляйн провел мозговой штурм с несколькими другими учеными Bell, чтобы разработать лучший процесс создания устройств FET. На этой встрече возникла идея использовать слой сильно легированного поликристаллического кремния в качестве затвора полевого транзистора. Затвор должен был поддерживаться на двойных слоях из нитрида кремния и диоксида кремния, служащих в качестве изолятора затвора. Используя полевой транзистор в качестве модели для интегральных схем, они изготовили и охарактеризовали сотни полевых транзисторов с высоким выходом, которые демонстрировали высокие электрические допуски.
Кляйн и его группа опубликовали многочисленные статьи по этой новой технологии а также запатентовал процесс.
Кляйн оставался в Bell Labs до 1967 года, когда он присоединился к IBM. Перед тем, как присоединиться к IBM, между Bell Labs и IBM было заключено соглашение о том, что Кляйну не будет разрешено тесно работать над проблемами, над которыми он работал в Bell Labs, по крайней мере, в течение определенного периода времени.
Не имея возможности работать непосредственно с технологией MOSFET, Кляйн попросили создать группу для развития технологии литографии. В частности, группа Кляйна работала над разработкой новых технологий фоторезиста.
В IBM Кляйн работал старшим инженером, менеджером и консультантом по техническому персоналу.
В 1987 году Кляйн ушел из IBM и начал преподавать химию на факультете физических наук в Общественный колледж Датчесс в его родном городе Покипси, Нью-Йорк.
US3209450A Метод изготовления полупроводниковых контактов. 3 июля 1962 г.
US3224904A Очистка поверхности полупроводников. 18 марта 1963 г.
US3436284A Способ получения атомарно чистого кремния. 23 апреля 1965 г.
US3424954A Структура туннельного диода из оксида кремния и способ ее изготовления. 21 сентября 1966 г.
US3475234A Способ изготовления неправильных структур. 27 марта 1967 г.
US3669669A Композиции циклического полиизопренового фоторезиста. 28 октября 1970 г.
US4053942A Устройство для удаления загрязняющих веществ низкого уровня из жидкости. 28 июня 1976 г.
В 1952 году Кляйн женился на Рут Кинцбургер (также химик и радиотехник), подруге детства из Бруклина. Вместе у них было 6 детей и 21 внук.
