CHMOS относится к одному из серии процессов Intel CMOS, разработанных на основе их процесса HMOS. (H означает высокая плотность).
CHMOS использовался в Intel, новой версии их стандартного микроконтроллера MCS-51. Чип также использовался в более поздних версиях Intel 8086 и 80C88, которые были полностью статической версией Intel 8088. Intel 80386 был изготовлен из 1,5 мкм CHMOS III, а затем из 1,0 мкм CHMOS IV.
CHMOS III использовал 1,5-микронную литографию, обработку p-лунок и два слоя металла.
CHMOS IV (H означает высокая скорость) использовал 1,0 мкм литографию. Многие версии Intel 80486 были изготовлены из 1.0 мкм CHMOS IV.
CHMOS V использовал литографию 0,8 мкм и 3 металлических слоя и использовался в более поздних версиях 80386, 80486 и i860.
.