Алюминиевые межкомпонентные соединения

In полупроводниковая технология, алюминиевые межсоединения (межсоединения из алюминия ) - это межсоединения, изготовленные из алюминия или сплавов на его основе. С момента изобретения монолитной интегральной схемы (IC) Робертом Нойсом в Fairchild Semiconductor в 1959 году, межсоединения из алюминия широко использовались в кремнии (Si) ИС до их замены на медные межсоединения в конце 1990-х и начале 2000-х годов в передовых технологических процессах. Al был идеальным материалом для межсоединений благодаря легкости осаждения и хорошей адгезии к кремнию и диоксиду кремния. Первоначально использовался чистый алюминий, но из-за образования пиков на переходе был добавлен Si для образования сплава. Позже электромиграция вызвала проблемы с надежностью, и в сплав была добавлена ​​медь (Cu). Алюминиевые межсоединения осаждают методами физического осаждения из паровой фазы или химического осаждения из паровой фазы. Первоначально на них был нанесен рисунок с помощью влажного травления, а затем с помощью различных методов сухого травления.

• Харрис, Дэвид Мани; Вест, Нил (2011). CMOS VLSI Design: A Circuits and Systems Perspective (4 ed.). Эддисон Уэсли. ISBN 9780321547743.
• Шварц, Джеральдин Когин (2006). Шварц, Джеральдин С.; Срикришнан, Крис В. (ред.). Справочник по технологии межсоединений полупроводников (2-е изд.). CRC Press. ISBN 9781420017656.